主要负责SiC Diode 及MOSFET功率器件的研发工作。
1、熟练使用Mentor L-edit软件,版图设计,开发新产品。
2、产品Tapeout,JDV check,Lot跟踪等代工厂对接工作。
3、负责CP,FT等参数汇总,数据分析及芯片优化。
4、参与SiC MOS器件仿真,sentaurus TCAD优化器件性能。(衬底外延选型,器件建模,电性仿真等)。
1、负责器件制造快速热退火工艺,栅氧工艺及金属硅化物工艺研发;
2、器件性能Sensitivity 评估及验证,分析设计DOE实验,提高器件性能;
3、新产品导入,flow and EDC check,process and measurement recipe setup;
4、Inline SPC maintain,long term performance CPK≥1.67,K shift≤0.2;
5、Monitor process flow setup,process qualify and new tool tier2/3 setup。