工作职责:
一、负责新产品导入:根据产品特性需求开发膜层,膜层主要有 SIO/SIN/SI/SION,主要通过搭配气体流量/电极间距/功率/温度/压力达到产品特性需求;
1、 车载一体黑项目:由于 SIN 较厚会导致屏幕颜色偏黄,通过减薄 SIN 厚度,实现屏幕外观颜色正常,因 SIN减薄,导至电性能力不够,通过开发新流量比,满足膜层含 H 量,实性电性提升;
2、 7mask 项目:因平坦层 PLN 膜层减少,导致平坦层作用加压至 CVD,通过增加 PV1 膜厚,增加膜层钝化能力,摒弃传统 PV1 单 SIN 膜层,通过加厚 SIN 新增 SIO 组合型膜层,同时提升膜层的穿透率以及隔绝水气能力。
二、产品质量提升
1. 产品 AOI 改善:改善成膜前玻璃基板电荷聚集,主要通过降低 pre_heat 功率,改善成膜前分子在玻璃基板聚集,实现 SIN/SIO/SIN 产品小黑点个数降低 30%;成膜过程中进行 SIO
pre_heat 处理,实现 5代线 ILD 制程 density AOI 0.8→0.12,降低部门 recipe 管控个数
2. 膜层膜厚 CPK 改善:监控日常产品质量,调试成膜工艺,降低产品 sigma,提升 CPK
3. 电性能力提升:主要通过调试工艺参数提升膜层穿透率,改善元器件的电子迁移率/阈值电压,提升玻璃基板性能。
三、异常改善:分析改善 CVD 成膜工艺中品质异常及相关技术;
1. PV 方格不良:通过探究气体原理,将预热气体由 H2 改变成 N2,增加 SIN 与 MO 之间粘附性,降低面板方格不良率(3.2%-0.48%);
2. 7mask OEE 提升:新膜层导入,导致机台频繁宕机,通过研究成膜过程温度,关闭腔室清洁功率,增加清洁时间,实现生产该产品过程 0 超温宕机,提升产品质量,提升 OEE。
四、 标准化:负责建立及编写工艺卡、部门标准化 SOP 编写改善实施;
五、人员培训:负责部门新人设备/工艺/值班技能传授以及考核。