一、核心职能:主要参与SJ深沟槽项目
二、工作职责:
负责电子束蒸发、干法刻蚀等o 负责工艺情况监控,有效处理 FDC ALARM 及宕机事件,及时解决 defectscase,保证生产线稳定运行。
精细化管理 SPC 图表,针对关键工序进行调机和 inline shift 原因分析,提升了产品质量和生产效率。
严谨处理异常品,确保报废流程合规,维护了生产流程的正常秩序,降低了生产成本
三、主要成就:
参与实施了国产超结深沟槽刻蚀工艺开发项目,成功实现在国产 Amec 机台上实现 Super junction deep trench 刻蚀为无锡华虹半导体节省了海外技术依赖,提升了公司的自主研发能力。